Die Technologie:   Der unter Hochspannung stehende Lack wird durch eine mit bis zu 40000 U/min. rotierenden Glocke in feine Tröpfchen zerstäubt, die den elektrostatischen Feldlinien von der Zerstäubereinrichtung zum Werkstück folgen und dabei eine homogene Lackverteilung erreichen. Die zu beschichtenden Substrate werden dabei horizontal unter der Sprüheinrichtung durchtransportiert. Auf diese Weise wird eine optimale Lackausbeute und Schichtverteilung erreicht, da die elektrostatischen Feldlinien die gleiche Richtung haben wie die Schwerkraft. Es gibt keine bevorzugte Auftragsrichtung, vielmehr eine homogene Struktur durch gleichverteilte Anflugrichtung der Lackpartikel. Durch den tröpfchenweisen Aufbau der Lackschicht werden Lufteinschlüsse vermieden. Das Ergebnis bei Leiterbahnen ist eine hervorragende Deckung, selbst von Unterätzungen. Hierdurch werden höhere Auflösungen als bei vergleichbaren Verfahren für nachfolgende Prozesse ermöglicht. Durch die Anwendung der Elektrostatik bleiben Bohrungswandungen im Substrat weitgehend lackfrei. Bei der elektrostatischen Hochrotationsbeschichtung können ein breites Spektrum an Lacken (pos. +neg. Resiste, Lötstopplacke) verwendet werden. Der Festkörperanteil kann erhöht werden, was dem Aufbau höherer Schichtdicken entgegenkommt. Für die Beschichtung von Hybriden, Wafern u. LCD's im Laborbereich wurde die CORESOL 400 LAB konzipiert.